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新浪財經發布時間：03-1515:07新浪財經官方帳號來源：朱邦凌古代人要想在一粒米上刻下整部《紅樓夢》，無異于天方夜譚，而隨著芯片半導體產業迅猛發展，如今這一設想已經不成問題。只需要一種工具——光刻機。光刻機作為集成電路制造中最關鍵的設備，對芯片制作工藝有著決定性的影響，一臺極紫外（EUV）光刻機可以用于7nm及以下制程的芯片制造，被譽為“超精密制造技術皇冠上的明珠”。隨著中芯國際深圳廠區導入一臺從荷蘭進口的大型光刻機引起極大關注，光刻機也從芯片產業幕后來到了人們視野當中。中芯國際早在2018年5月以1.5億美元的價格向ASML訂購一臺極紫外（EUV）光刻機，當時計劃于2019年正式交付，但是至今遲遲未能完成交付。而目前全世界能夠生產最先進的7nm制程的EUV光刻機，只有荷蘭阿斯麥公司（ASML）。這家出身于著名電器制造商飛利浦的芯片機公司，是全球最大的半導體設備制造商之一，要想生產最先進的芯片，唯一的出路只有和它合作。阿斯麥總部位于荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven)，是飛利浦與 ASMI于 1984年合資創立，原稱 Advanced Semiconductor Material LithographyHolding N.V.。1995年公司在 NASDAQ與阿姆斯特丹交易所上市， 2001年更名為 ASML。2019年ASML的凈銷售額為118.2億歐元（約907.3億人民幣），同比增長8%；凈利潤為25.92億歐元（約198.9億人民幣），同比維持不變。在EUV光刻機方面，ASML在2019年共交付26套EUV光刻機，占凈系統銷售額的31%，約27.89億歐元（約214.26億人民幣）。這樣一家掌握80%的國際市場份額、壟斷著高端光刻機市場的公司，起步時不僅遠遠落后于同行，還沒錢沒背景，沒有人能相信它會成為未來的市場霸主。1、因為窮，被迫走向開放式創新從1971年開始，飛利浦在此前開發的透鏡式顯影裝備基礎上，開發透鏡式非接觸光刻設備。1973年，飛利浦推出新型光刻設備，但由于成本高昂，且存在一系列技術問題，很難對外推廣，而其他設備商已經取得了技術突破。1984年，飛利浦與芯片制造商 ASMI合資成立了ASML，專門從事光刻機設備的開發。當時他們面臨著三大重要問題：一是技術落后，先前研發的技術已經過時，無法滿足客戶需求；二是市場已經接近飽和狀態，競爭異常激烈，日本的Nikon、Canon、Hitachi，美國的GCA、SVG、Ultratch、ASET、Perkin-Elmer、Eaton，民主德國的Zeiss等在之前早已經推出光刻機產品；三是資金嚴重不足。然而當時的飛利浦經濟每況愈下，正在執行大規模的裁員計劃，當時員工都對ASML的未來沒有信心。一群年輕人懷抱顛覆產業的夢想，從飛利浦獨立出來。因為沒能從飛利浦拿到融資，只能獨自熬過開發周期。于是，創始人們只能游說政府和客戶，希望能夠分享利潤，共同研發：我們愿意與你們合作，愿意跟你們分享我們的利潤，而且你們可以用很低的價格就能拿到我們的機器。這種整合現有資源，并最大利用外部資源的商業新形式最終成為如今現有企業的新理念：開放式創新。而在那時，飛利浦、索尼都是高度垂直整合的代表性企業，生產所需要的每一個組件，都自己去完成。2、兩年成名，25年稱霸功夫不負有心人，1984年，ASML在成立當年推出了 PAS2000 步進式光刻機，公司開始迅速發展，并得到飛利浦和 ASMI 的追加投資。1985 年ASML已擁有100 多名員工，并搬到了新建的辦公室和工廠；1986 年，ASML采用新的對中技術推出 PAS 2500 步進式光刻機，開始在市場上建立起一定的名氣，同年與鏡片制造商CarlZeiss建立合作伙伴關系；1988年隨著飛利浦在臺灣建立合資鑄造廠，ASML開始在亞洲市場開拓道路。1991年，公司推出了PAS5500光刻機，擁有業界領先的生產力和分辨率，取得巨大成功，今天仍然有被使用，由此ASML開始走向成熟；1995，ASML在納斯達克和阿姆斯特丹交易所上市，充裕的資金讓公司發展提速；并且ASML收購了飛利浦持有的股份，成為完全獨立的公司。2001 年，ASML收購硅谷集團；同年，ASML推出了雙掃描系統，從而使性能和生產率最大化。2003年，ASML成功研制出世界上第一臺浸入式光刻機TWINSCANAT：1150i；接著2006 年推出第一臺沉浸式批量生產光刻機TWINSCANXT：1700i；2007年又成功研發出第一臺 193nm浸入式系統TWINSCANXT：1900i；具有雙工作臺、浸沒式光刻技術的TWINSCANXT、TWINSCANNXT系列研制成功，奠定ASML在光刻機領域的霸主地位，尼康、佳能市場份額被急劇壓縮。兩年后的2009年，據Bloomberg 數據顯示，ASML的營業額已達22.25億美元，已經占據70%市場份額，成功登上光刻機領域的霸主之位。3、2021年ASML將推下一代EUV光刻機 ，面向2nm、1nm工藝2011-2017年全球光刻機總出貨1920臺，ASML出貨1209臺，占有63%的市場份額。EUV光刻機方面，ASML占有率100%。在ArFi機臺方面，全球銷售612臺，ASML以539臺，占有率超過88%。ArF機臺方面，全球銷售95臺，ASML占比52%。也就是說，在高端光刻機方面，ASML占有84%的市場。2018年ASML全年營收109億歐元，凈利潤26億歐元，其中ASML公司還指出在中國市場營收占到19%。2019年ASML的凈銷售額為118.2億歐元，凈利潤25.92億歐元，其中當今最先進的極紫外（EUV）光刻機出貨出貨26臺，營收27.89億歐元。主要用于臺積電、三星的7nm及今年開始量產的5nm工藝，預計今年出貨35臺EUV光刻機。2021年ASML將推下一代EUV光刻機 ，面向2nm、1nm工藝。根據ASML的信息，EXE:5000系列光刻機最快在2021年問世，不過首發的還是樣機，真正用于生產還得等幾年，樂觀說法是2023年或者2024年才有可能看到NA 0.55的EXE:5000系列光刻機上市。相關搜索中國光刻機asml中國7納米光刻機國產最先進光刻機euv光刻弱爆了中芯國際14nm

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